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Projets de Spécialisation Intelligente (RIS3)
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Au cours de la période 2007-2013, l'institut FEMTO-ST a bénéficié d'un financement FEDER pour une vingtaine de projets à hauteur d'un montant global de l'ordre de 5 M €
Sur la période 2014-2020, plusieurs projets dans lesquels FEMTO-ST est partenaire ou coordinateur font également l'objet de financement FEDER et sont présentés brièvement ci-dessous :
Next Watch
Durée : 2018-2022
Description :
Ce projet de recherche industrielle, et de développement expérimental collaboratif, a pour objectif la conception, le développement et l’industrialisation d’une technologie de rupture à base de silicium pour la motorisation de montres à quartz et de montres connectée à aiguilles. Il s’agit en effet de créer un nouvel élément moteur sur silicium afin d’éliminer la chaine cinématique des moteurs actuels pas à pas.
Ce projet relève de la filière « Microtechniques et marchés du luxe comme l’horlogerie ou la bijouterie ».
Au plan scientifique, FEMTO-ST réalise la modélisation électromécanique, la conception et le développement des procédés de fabrication en salle blanche.
Porteur : SILMACH
Financement :
Montant éligible programmé : 8 584 521,39 €
Montant FEDER programmé : 5 362 783,71 €
Montant FRI programmé : 337 600,00 €
Contact : Jean-Claude Jeannot
MIMEDI
NOUVELLES SOLUTIONS TECHNOLOGIQUES POUR OPTIMISER LA FABRICATION DE «CELLULES MEDICAMENTS»
Durée : 2017- 2022
Perspectives
Ce projet régional d’envergure vise à optimiser la production des Médi et à réduire leur coût de fabrication pour faciliter l’accès à ces nouveaux traitements personnalisés qui proposent une alternative ou un complément aux traitements actuels réalisés par voie chimique. Leur mise sur le marché devrait ainsi permettre de lutter plus efficacement contre les problèmes de santé publique tels que le cancer, l’inflammation ou la réparation tissulaire.
Durée, montant et financement
Le projet collaboratif MiMédI associant 9 partenaires régionaux (5 entreprises privées, 3 partenaires académiques et un organisme de transfert ) s’inscrit dans le cadre du programme européen de spécialisation intelligente régionale (RIS3) et plus particulièrement dans le domaine des microsystèmes appliqués au secteur de la santé. D’une durée de 5 ans et d’un coût total de 15 M€, il est financé à hauteur de 75 % par les fonds FEDER et cofinancé en partie par le fond régional d’innovation.
Contact
Olivier LEHMANN
Partenaires industriels :
Partenaires académiques et publics
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![](https://www.femto-st.fr/sites/default/files/styles/wysiwyg_100w/public/articles/docs/efs_copie_1.jpg?itok=xsFi50CK)
![](https://www.femto-st.fr/sites/default/files/styles/wysiwyg_100w/public/articles/docs/logo_cic_de_besancon_hd_copie_7.jpg?itok=ugYOYLyY)
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Projet S3-4AlpClusters
Un projet de spécialisation intelligente dans l’espace alpin
Durée : 2016-2019
Le projet S3-4AlpClusters a bénéficié du soutien de l’Union européenne dans le cadre du programme Interreg V B Espace Alpin.
Objectif :
L’objectif de ce projet était d’améliorer les conditions-cadres pour l’innovation dans les clusters de l’espace alpin en initiant des échanges d'informations et de connaissances entre les décideurs politiques des différentes régions de l’espace alpin, en y incluant les entreprises, les académiques et la société civile, et en facilitant une coopération à forte orientation technologique entre les clusters
Résultats :
Ce projet a notamment permis :
- La création d’une base de connaissance concernant les capacités de la région en termes d’innovation, notamment pour mettre en avant les compétences des entreprises, les savoirs historiques de la région et les opportunités de développement.
- L’identification des activités transformatrices à fort potentiel de développement et d’innovation en transformant les industries existantes et en identifiant les compétences à développer pour réaliser ces activités. Ces dernières devant présenter un avantage compétitif à l’échelle mondiale, basées sur les compétences locales ou en collaboration avec les régions voisines, si les compétences locales ne suffisent pas à les mettre en œuvre.
- La définition d’une stratégie de développement des activités transformatrices qui définit les actions nécessaires à la mise en place de ces activités (telle que la création d’un consortium, le lancement d’un projet de recherche, la recherche de fonds, etc.) et qui implique tous les acteurs régionaux.
- La mise en œuvre de ces actions qui doivent permettre, à terme, d’atteindre une masse critique pour la réalisation des activités transformatrices et qui s’appuie sur un catalogue de bonnes pratiques pour les clusters.
Budget :
Le projet s'est déroule sur 30 mois, du 1er novembre 2016 au 30 avril 2019, avec un budget total de 2 521 964€, dont 1 929 500€ au titre du FEDER.
Pour plus d’informations, consulter le site internet du projet
![](https://www.femto-st.fr/sites/default/files/articles/images/asp_s3-4alpclusters_logo_positive_rvb_with_erdf_screen_laptop_400px.png)
Projet SMART INN
Durée : 2015 - 2019
Descriptif
Le besoin de composants passifs fonctionnant à des fréquences couvrant les bandes VHF (30 à 300 MHz) et UHF (300 MHz – 3 GHz) s’inscrit dans le développement de systèmes pour les télécommunications mobiles professionnelles et grand public ainsi que de détection embarqués de haute résolution (applications Radar). Compte tenu de l’état de l’art, des spécifications techniques et des contraintes dimensionnelles généralement imposées pour ce type d’application, seul un composant passif à ondes élastiques guidées permet d’envisager une solution viable.
Dans ce contexte, des sociétés industrielles franc-comtoises ont regroupé leurs compétences et mutualisé leurs outils de développement pour innover dans le domaine des composants radiofréquences acousto-électriques, élargir leur proposition commerciale et faire fructifier leurs offres de manière coordonnée. Pour ces différents objectifs, elles se sont adossées à l'institut FEMTO-ST et à la plate-forme Cristal-Innov (Rhône-Alpes) et développent le projet de recherche SMART-INN s'inscrivant sur le long terme et s'organisant sur des actions bien définies au travers de sous-projets spécifiques.
Les limites actuelles des composants passifs RF sont de natures diverses. Elles tiennent en partie à la connaissance incomplète de certaines propriétés de la matière jouant un rôle-clé dans l'utilisation qui en est faite pour la génération, le filtrage et la stabilisation de fréquence, à la technologie qui, bien que poussée à ses limites, peut encore bénéficier d'avancées importantes, à la nature même des matériaux et à leur propriétés effectives qui, pour être encore améliorées, passent par le développement et l’industrialisation de nouveaux cristaux, voire de nouvelles combinaisons de matériaux.
Les technologies de leur mise en forme jouent également un rôle central dans la qualité de ces matériaux, renforcées par une optimisation effective des fonctions réalisées par les composants et les systèmes qui en tirent parti. Pour pouvoir en proposer une gamme complète, couvrant la majeure partie des demandes actuelles et préparant les marchés futurs, il fallait donc progresser sur tous ces champs en parallèle et en synergie, en mettant en œuvre un programme de travail dont la transversalité répondant à ces enjeux est garantie par le partenariat ainsi mis en place.
Résultats
L’ensemble du consortium a progressé sur la filière avec la création de nouveau emploi dans la filière sur le bassin bisontin, le développement de nouvelles compétences et de nouveaux produits. Pour l’institut FEMTO-ST, ce projet s’est concrétisé par des résultats innovants pour le domaine qui ont donné lieu à trois soutenances de thèse. « Contribution à l’optimisation robuste et fiabiliste Application à la conception de filtres à onde élastique radio-fréquence », François Schott, en décembre 2019. « Étude pour l’amélioration de la tenue à la puissance de filtres à ondes élastiques de surface aux fréquences radio », Melvin Paquit, en mai 2020. « Résonateurs à domaines ferroélectriques sur coupes obliques de niobate de lithium pour les applications de filtrage radiofréquences », Alexandre Matic, en novembre 2020.
Budget/financement
Le budget pour la partie académique est de 540 680 € dont 432 550 € pour le FEDER.
Contact : Thomas BARON
Partenaires
![Logos : AR Electronics ; Cristal Innov ; Digital Surf ; frecInIsys ; my-OCCS ; SnowRay](https://www.femto-st.fr/sites/default/files/styles/wysiwyg_fullw/public/articles/docs/logos-smartinn.jpg?itok=lm4-lf3T)
Projet 3S MEMS
![](https://www.femto-st.fr/sites/default/files/articles/images/091208-femto-5235-redim.jpg)
Durée : 2015 - 2019
Descriptif
Le projet 3S MEMS a bénéficié d’un soutien financier de l’Union Européenne dans le cadre du programme opérationnel FEDER/FSE Franche-Comté et Massif du Jura 2014-2020 (objectif spécifique 1.1).
Ce projet visait à l’émergence d’une nouvelle filière de production des MEMS silicium pour capteurs innovants.
Il a bénéficié d’un budget global d’environ 9 M€ et a impliqué quatre partenaires régionaux : les sociétés SilMach (coordinateur du projet), Percipio Robotics, Frec|n|sys ainsi que la centrale technologique "MIMENTO" de l’institut FEMTO-ST, via l’Université de Franche-Comté (SAIC).
Le budget relatif à FEMTO-ST a été d’environ 4 M€ pour une aide estimée à 3.4 M€. (75 %), avec une part d’autofinancement correspondant à la valorisation des heures dédiées à la mise en œuvre de ce projet par le personnel permanent (CNRS et UFC) de la centrale.
Le projet 3S MEMS a fonctionné selon un modèle "fabless" . Ainsi, les 3 partenaires industriels, ne disposant pas d’outils de production adaptés, sous-traiteront la fabrication des puces elles mêmes à la centrale MIMENTO qui a joué le rôle de "fonderie" microsystème.
Par ailleurs, des actions de formation ont été menées pour inciter les étudiants et jeunes chercheurs à travailler dans ce domaine et rester dans la Région, contribuant ainsi à développer et ancrer cet axe de spécialisation sur notre territoire.
Le projet, d’une durée de 54 mois, a commencé au 1er juin 2015 et s'est terminé le 30 novembre 2019. Il a nécessité l’implication de la totalité du personnel actuel de la salle blanche et le recrutement d’ingénieurs dédiés spécifiquement au projet. Il a permis l’acquisition de nouveaux équipements à "l'état de l'art" et adaptés à cette nouvelle filière, contribuant ainsi à améliorer l'infrastructure de la salle blanche.
Des actions de formation complémentaires du personnel ont également été réalisées.
Déroulement
Au terme de la première phase du projet (durée 18 mois) qui s'est terminée en janvier 2017, la modernisation de la salle blanche MIMENTO a été achevée grâce à l’installation des nouveaux équipements prévus dans le projet (machine de gravure silicium DRIE de 6 pouces, système de rinçage SRD 6 et 4 pouces, microscope CD-SEM 6 pouces, nettoyeur masque et wafer, aligneur 6 pouces, système de contrôle d'alignement) mais aussi grâce à la revalorisation des équipements existants (piste d'enduction automatique, pulvérisateur Trikon), le renforcement des ressources humaines dédiées (recrutement de deux ingénieurs de recherche et d'un assistant ingénieur pour la maintenance) et l'amélioration de l’infrastructure de la salle blanche (réseaux des fluides, travaux d'infrastructure pour installer les nouveaux équipements).
En décembre 2016 un équipement de gravure SPTS-RAPIER, dédié à la gravure plasma du silicium a été réceptionné. Il permet notamment la réalisation de microsystèmes sur substrat silicium ou SOI (Silicon On Insulator) de 6 pouces.
Pour la centrale MIMEMTO, ce graveur apporte des capacités étendues en termes de recherche et développement et permet de pérenniser les infrastructures de la salle blanche à travers la mise en place d’une véritable plateforme industrielle, propice à l’accompagnement de PME innovantes. Pour SilMach, ce graveur offre l’opportunité de réaliser des prototypes à façon et des séries de pièces faisant appel aux savoir-faire « process » développé par cette entreprise. Cet équipement lui permet ainsi d'asseoir le déploiement de la technologie ChronoMEMS par des moyens de fabrication modernes et fiabilisés.
Durant la phase 2 du projet (24 mois) de nouveaux procédés de fabrication industrielle à partir des équipements acquis dans le cadre du projet ont été développés et en particulier pour la fabrication des capteurs ChronoMEMS.
La phase 3 du projet qui s’est terminé le 30 novembre 2019 a concrétisé la mise en place de cette nouvelle filière de micro fabrication de composants MEMS silicium sur wafer 6 pouces pour la conception de capteurs innovants. Elle ouvre ainsi de nouvelles perspectives pour les partenaires du projet et pour la centrale de technologie MIMENTO dans le cadre de collaboration académiques ou industrielles.
Pour obtenir plus d’informations sur l’implication de l’Europe dans la région merci d’activer le lien www.europe-en-franche-comte.eu
Contact
Centrale de technologie MIMENTO, FEMTO-ST