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Département Temps-Fréquence
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Composants et Systèmes Micro-Acoustiques

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Contexte

Les recherches de l'équipe Composants et Systèmes Micro-Acoustiques (CoSyMA) concernent les applications autour des sources de fréquence, des filtres et des capteurs à ondes élastiques de volume et de surface.


Objectifs et Thématiques scientifiques

Le développement de dispositifs à ondes élastiques de volume et de surface donnent lieu à trois axes de recherches complémentaires :

› L'amélioration des composants passifs radiofréquences (RF) exploitant les propriétés des ondes élastiques qu'il s'agisse de la conception de nouvelles archoitectures ou l'exploitation de nouveaux matériaux

› L'élaboration de systèmes électroniques intégrant de tels composants pour les applications visées permettant d'exploiter et caractériser les dispositifs réalisés.

› Les modélisations mathématiques multiphysiques multi-échelles pour améliorer la compréhension et la maîtrise du comportement de composants ou réseaux de composants passifs en vue de fournir de nouveaux outils génériques.


Savoir-faire

Applications sources et filtres :

Les composants passifs à ondes élastiques guidées ou confinées dans des microstructures de volume ou de surface sont abondamment utilisés pour la stabilisation d'oscillateurs dans le domaine des radio-fréquences (RF) et le filtrage de bande à faibles pertes pour les télécommunications.

L'équipe a ainsi conduit avec succès des travaux visant à surmonter la limite technologique de résolution spatiale de 0,3 μm des steppers utilisés pour l'étape de lithographie des composants SAW en proposant de nouveaux types de structures de résonateurs et filtres.

Applications capteurs :

Les travaux de CoSyMA destinés à des applications capteurs couvrent aussi bien le développement de démonstrateurs composants passifs RF et de systèmes électroniques de mesure intégrant de tels composants, mais également, la modélisation de composants piézoélectriques et la modélisation multiphysique multi-échelle de réseaux de capteurs dans un cadre théorique très large.


Mise en œuvre

Le développement concret de composants passifs RF passe par l'association d'études et de simulations détaillées avec de nombreux développements technologiques au sein de la salle blanche MIMENTO.
L’équipe s'est impliquée dès sa création dans de nombreux partenariats industriels. Cette culture partenariale a contribué de façon décisive aux développements à visées applicatives de l'équipe, aux côtés d'une forte implication dans les activités d'enseignement  de l’École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM), de l'Université Technologique de Belfort-Montbéliard (UTBM) et de l'UFR Sciences et Techniques de l'Université de Franche-Comté (UFR-ST) pour garantir la continuité de la formation s'appuyant sur la recherche.