Hala ACHAHBAR : "Etude et maîtrise du vieillissement des électrodes de filtres à ondes élastiques de surface pour les bandes S, C et pour la téléphonie 5G"

Résumé : Nous assistons depuis quelques décennies à un essor de la téléphonie mobile avec l'apparition de nouveaux réseaux sans fil tels que la 3G, la 4G et maintenant la 5G. Avec ces évolutions, les fréquences de fonctionnement augmentent (3,5 GHz), les bandes de fréquence sont de plus en plus proches les unes des autres et de plus en plus large. Les filtres à onde élastique de surface (SAW) sont une des solutions répondant à ces besoins. Cependant, avec la réduction dimensionnelle liée à la montée en fréquence, un vieillissement prématuré des électrodes des filtres SAW est observé. La thèse traite de ces phénomènes de diffusion avec leur identification et leur compréhension, la mise en œuvre d’une solution et une validation expérimentale. Ainsi, nous avons apporté des solutions technologiques pour la réalisation de électrodes de dimensions sub-micrométriques stables et robustes face à ces phénomènes. La tenue des électrodes face aux phénomènes de diffusion consiste à favoriser la formation d’un film de qualité cristalline maximale. L’effet d’une couche intermédiaire de Ta entre le substrat en LiTaO3 ou en LiNbO3 et le film d’AlCu combiné à un recuit de recristallisation à 250°C sur la qualité cristalline des électrodes a été étudié. Pour évaluer l’effet de cette approche sur des filtres SAW, des tests de vieillissement accélérés thermiquement et en puissance ont été réalisés et nous ont permis de mettre en évidence les phénomènes impliqués dans le mécanisme de vieillissement des filtres SAW.

Composition du jury : 

Thomas BARON, Ingénieur de recherche, Université Bourgogne Franche-Comté, Directeur de thèse

Guy FEUILLARD, Professeur des universités, INSA Centre Val de Loire, GREMAN UNR CNRS 7347, Rapporteur

Thierry  AUBERT, Professeur des universités, Université de Lorraine, Rapporteur

NICOLAS  MARTIN, Professeur des universités, Université Bourgogne Franche-Comté, Examinateur

Marie BOUSQUET, Ingénieur de recherche, CEA-LETI, Examinateur

Emilie COURJON, Ingénieur de recherche, frec|n|sys, Co-encadrant de thèse

Localisation :  Institut FEMTO-ST 15B, avenue des Montboucons 25000 BESANCON - salle Amphithéâtre Jean-Jacques Gagnepain