Raya El Beainou :"Relations structure - propriétés de conduction dans des films W-Cu nano-structurés"

Description des travaux de thèse de Raya El Beainaou : "Relations structure - propriétés de conduction dans des films W-Cu nano-structurés"

Mots clefs : Films minces, Conduction électrique, Croissance, Pulvérisation cathodique, Anisotropie

Résumé : Des films minces de W et de W-Cu ont été déposés par co-pulvérisation GLAD à partir de deux cibles opposées de W et Cu. Chaque cible a été focalisée sur le centre du substrat avec un angle d'inclinaison α = 80°. Plusieurs séries d’échantillons ont été réalisées en faisant varier différents paramètres expérimentaux : la pression de travail, l’épaisseur des films ainsi que les intensités du courant des cibles. La nature des films préparés et leurs propriétés ont été étudiées pour comprendre les corrélations entre les caractéristiques structurales et les comportements électriques des films. Les paramètres expérimentaux jouent un rôle fondamental sur la forme des colonnes, leur angle de croissance, et sur la composition élémentaire des films colonnaires de W-Cu. Une variation systématique de ces paramètres a permis de relier certaines caractéristiques morphologiques et structurales aux propriétés de transport électronique dans ces films colonnaires. Le cuivre a été dissout chimiquement afin d’obtenir une structure plus poreuse, ceci dans l’objectif d’améliorer l’anisotropie électrique. Parallèlement à cette approche expérimentale, un modèle théorique a été développé pour comprendre les propriétés de conduction dans les films en tenant compte de la géométrie anisotrope des colonnes. Ce modèle a été appliqué aux films de W et W-Cu bruts et gravés.

Le jury sera composé de:

M. JOUAN Pierre-Yves, Professeur, Université de Nantes ( Rapporteur)
M. TRISTANT Pascal, Professeur, Université de Limoges (Rapporteur)
M. TOMASELLA Eric, Professeur, Université de Clermont Auvergne ( Examinateur)
M. KONSTANTINIDIS Stéphanos, Chargé de Recherche, Université de Mons (Examinateur)
M. PAUMIER Fabien, Maître de Conférences, Université de Poitiers (Examinateur)
M. PIERSON Jean-François, Professeur, Université de Lorraine, (Examinateur)
Mme POTIN Valérie, Maître de Conférences, Université de Bourgogne (Codirectrice de thèse)
M. MARTIN Nicolas, Professeur, ENSMM (Directeur de thèse)

Localisation : Ampithéâtre J-J Gagnepain, Bâtiment TEMIS, 15B, Avenue des Montboucons, Besançon