Rim ETTOURI, Séminaire sur la fabrication de MEMS métalliques

Nous avons le plaisir de recevoir Rim Ettouri du GREMI/Orléans (Groupe de Recherches sur l’Énergétique des Milieux Ionisés), UMR 7344 CNRS/Université d'Orléans | Polytech Orléans qui travaille sur la fabrication de MEMS métalliques, le 09/02/2023 à 14h00 à l'amphithéâtre  Jules Haag - SUPMICROTECH - ENSMM.

Résumé des travaux : MEMS à base de titane massif pour les applications biomédicales : Matériaux, déroulement du processus, mécanismes et caractérisation approfondie

Le titane (Ti) et ses alliages ont gagné en popularité en tant que matériaux biomédicaux en raison de leur rapport résistance/poids exceptionnel, de leur résistance supérieure à la corrosion et de leur excellente biocompatibilité. Cette présentation se concentre sur l'étude de la gravure du titane en vrac à haut rapport d'aspect (HAR) dans le but de créer des systèmes innovants de rupture pour des applications dans le développement de la prochaine génération d'implants biomédicaux. L'objectif global, scientifiquement et technologiquement sans précédent, est d'avoir un contrôle optimal de la gravure HAR (jusqu'à 1:10, avec des profondeurs de plusieurs centaines de micromètres) et des processus de microfabrication reproductibles. La caractérisation du plasma et des structures gravées, par l'utilisation combinée de différentes techniques (par exemple SEM+EDS, XPS et microscopie optique (OM)) est une étape clé pour la compréhension des mécanismes de gravure et pour assurer la répétabilité des procédés. Enfin, l'effet du vieillissement thermique sur la microstructure, les propriétés mécaniques et la résistance à la corrosion du titane fabriqué est présenté. Ensemble, ces résultats démontrent le potentiel de l'utilisation de la technologie Ti MEMS pour fabriquer de nouveaux microsystèmes biomédicaux avec une robustesse, une sécurité et des performances accrues.