Sabina KUPRENAITE: "Intégration hétérogène de couches minces fonctionelles pour dispositifs acoustiques et optiques"

Travaux de thèse : "Intégration hétérogène de couches minces fonctionelles pour dispositifs acoustiques et optiques"

Résumé : Le contrôle de la microstructure et de la morphologie de surface est essentiel pour que les couches minces soient appliquées dans des dispositifs optiques et acoustiques. Des couches minces de TiO₂, LaNiO₃ et ZnO et leurs hétérostructures ont été obtenues par des techniques de pulvérisation cathodique radio fréquence et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'optimisation des paramètres de dépôt, tels que la température, la pression totale de la chambre, la pression partielle en oxygène et la vitesse de croissance, a conduit à une amélioration de la qualité structurelle et fonctionnelle des films minces et de leurs hétérostructures. L'orientation des couches minces épitaxiales de ZnO et TiO₂ a été ajustée non seulement par le lien de maille avec divers substrats, mais également avec les conditions de dépôt. La qualité optique des films de TiO₂ a été principalement optimisée par l'élimination des défauts microstructuraux et par l'augmentation de la non-stœchiométrie en oxygène. Il a été démontré que les défauts ponctuels et microstructuraux dans les films polycristallins et épitaxiaux jouent un rôle clé dans les pertes de propagation optique. L'effet de la polarité du substrat sur les propriétés structurelles, optiques et acoustiques des films minces à base de ZnO a également été étudiée. Les couches sacrificielles et / ou d'initiation de croissance ont été identifiées pour l'intégration hétérogène de films acoustiques et optiques fonctionnels sur substrats semi-conducteurs.

Composition du jury : 

- M. WEISS François - Directeur de Recherche CNRS, LMGP- MINATEC - Rapporteur
- M. JUKNA Arturas - Professeur des Universités, Vilnius Gediminas Technical University - Rapporteur
- M. BANYS Juras - Professeur des Universités, Vilnius University - Examinateur
- M. BOULET Pascal - Ingenieur de recherche CNRS, Université de Lorraine - Examinateur
- M. MARTIN Nicolas - Professeur des Universités, ENSMM - Examinateur
- M. SANTISO José - CSIC Tenured Scientist, Universitat Autònoma de Barcelona - Examinateur
- Mme. BARTASYTE Ausrine - Ingénieur de Recherche HDR, E.N.S.M.M - Directeur de thèse
- M. ABRUTIS Adulfas - Professeur des Universités, Vilnius University - Co-directeur de thèse

Localisation : Amphithéâtre J-J Gagnepain à TEMIS Sciences, 15B, Avenue des Montboucons - Besançon