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La nouvelle salle blanche de FEMTO-ST bientôt opérationnelle

Prévue dans le cadre du projet TEMIS Sciences, la livraison de l’extension de la salle blanche située dans le bâtiment TEMIS-Innovation-Maison des Microtechniques sur le technopole TEMIS à Besançon aura lieu fin septembre.

Il s’agit de la première étape de ce grand projet, porté par la Région Franche-Comté, qui verra d’ici juin prochain son aboutissement avec la remise, à l’Université de Franche-Comté, d’un nouveau bâtiment de recherche permettant d’accueillir plusieurs équipes de recherche bisontines de l’institut FEMTO-ST (Unité Mixte de Recherche CNRS/UFC/ENSMM/UTBM)

Dans le prolongement de la salle blanche initiale, cette extension de 850 m² du bâtiment va ainsi permettre de regrouper les différentes filières spécifiques de microfabrication de l’institut FEMTO-ST sur un même lieu, proche de ses utilisateurs. L’objectif étant de constituer sur TEMIS un campus visible et attractif associant recherche, formation et innovation grâce à la présence des établissements d’enseignement supérieur (Université de Franche-Comté et Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques), d’un des plus importants laboratoires français en sciences de l’ingénieur (FEMTO-ST) et d’industriels du domaine des microtechniques.

La salle blanche (« clean room » en anglo-saxon) est une pièce à atmosphère et à empoussièrement contrôlés, en légère surpression par rapport à l’extérieur. Elle est utilisée dans des domaines sensibles aux contaminations environnementales et notamment pour des procédés de fabrication et manipulations d’objets dont la taille de certaines parties est de l’ordre de quelques microns à quelques nanomètres. Elle permet en effet d’éviter que des particules plus grosses présentes dans l’air ambiant ne viennent créer des défauts sur les composants réalisés.

D’un point de vue technique, les équipements sont répartis dans la salle par ressources technologiques. Pour fabriquer un composant, il faut donc enchaîner des étapes entre ces différentes ressources : lithographie (reproduction d’un design sur le matériau à l’aide d’une résine photosensible), dépôt (de matériaux présentant différentes propriétés : piézoélectriques, isolantes, conductrices), gravure (usinage du matériau par voie chimique ou plasma). S’y ajoutent les ressources caractérisation (validation du dispositif tout au long des étapes de fabrication) ou encore connectique-packaging (conditionnement du composant final).

La phase de déménagement - repositionnement et mise en route de l’ensemble de ces équipements de haute technologie au sein de ce nouvel espace global d’environ 1400 m², dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 7, s’échelonnera sur une durée de 4 semaines à compter de début octobre. L’inauguration officielle étant quant à elle prévue fin novembre prochain.

Cette plateforme de pointe, animée par 15 ingénieurs et techniciens fait partie des 6 grandes centrales de technologies françaises. Elle représente, sans aucun doute, une véritable opportunité, pour les chercheurs de FEMTO-ST et pour ses partenaires académiques et industriels, de rester dans la compétition internationale dans le domaine des micro et nanotechnologies.

  • Publication dans Nature Communications

    Novembre 2014 :

    parution de l'article

    « Protrusion force microscopy reveals oscillatory force generation and mechanosensing activity of human macrophage podosomes »

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  • On a marché sur les braises !

    Un dimanche presque comme les autres à la Fabrikà sciences. Dimanche 14 décembre 2014, John Dudley (chercheur à l'Institut FEMTO-ST) proposait au public de marcher sur les braises.

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  • Paper prize lors de la conférence internationale VPPC 2014

    Lors de la conférence internationale IEEE « Vehicule Power and Propulsion Conference » qui s’est déroulée à Coimbra au Portugal du 27 au 30 octobre 2014, l’équipe Systèmes Hybride et Systèmes Pile à Combustible »du département Energie de FEMTO-ST a remporté le « Paper Prize » pour son article intitulé « Gestion d'énergie d'un véhicule électrique hybride en fonctionnement dégradé »

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  • Best Paper Award pour proposer l’interopérabilité des systèmes de communication des armées

    L’article présenté fin octobre à Rome par une équipe de FEMTO-ST/ Département Informatique des Systèmes Complexes, a reçu le prix du meilleur article scientifique lors de la conférence européenne du Wireless Innovation Forum. Les résultats présentés portaient sur l’application des méthodes de génération de tests à partir de modèles formels pour vérifier la conformité au standard du logiciel embarqué dans ces équipements, permettant d’assurer ainsi leur interopérabilité.

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  • Yannick Lefier, vainqueur de la Grande Battle de FEMTO-ST !

    Vulgariser ses travaux de recherche avec humour et en moins de 3 minutes. C’est le défi dans lequel se sont lancés huit doctorants de FEMTO-ST qui se sont affrontés à coups de « supers pouvoirs » au cours de cette édition 2014 de la fête de la science. Après une première épreuve qui s’est déroulée à l’UFR-STGI de Belfort, le 9 octobre dernier devant 130 lycéens, Yannick Lefier s’est imposé lors de la finale qui a eu lieu le 12 octobre à Besançon avec 30 % des votes du public pour la présentation de ses travaux en optique… déguisé en grand maître de la lumière karatéka !

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  • Un nouveau mode de diffusion de la lumière dans de minuscules fibres optiques

    Des chercheurs de l'institut Femto-ST en collaboration avec des collègues du Laboratoire Charles Fabry viennent de découvrir un nouveau mode de diffusion de la lumière dans de minuscules fibres optiques 50 fois plus fines qu'un cheveu ! Ce phénomène, qui varie selon l'environnement de la fibre, pourrait être exploité pour concevoir des capteurs innovants et ultra-sensibles. Ces travaux sont publiés le 24 octobre 2014 dans la revue Nature Communications.

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  • Congrès CETSIS - 27-29 octobre 2014

    Besançon accueille le congrès CETSIS 2014 du 27 au 29 octobre 2014. Il se déroule essentiellement autour de démonstrations réelles de travaux pratiques et de projets et de tables rondes et accueillera des enseignants, enseignants-chercheurs, doctorants, industriels de toute la France et de pays francophones.

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  • Visite du Premier ministre, Manuel Valls, à FEMTO-ST

    Accompagné de Mme Najat Vallaud-Belkacem, Ministre de l'Éducation nationale, de l'Enseignement supérieur et de la Recherche, et Mme Geneviève Fioraso, Secrétaire d’Etat à l’Enseignement supérieur et à la Recherche, le Premier Ministre Manuel Valls est venu découvrir, lundi 29 septembre à Besançon, les recherches menées au sein de l’institut et apprécier les développements technologiques réalisés au sein de notre salle blanche.

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  • Prix spécial du Jury sur le salon MICRONORA

    Un microrobot développé par une équipe de recherche de FEMTO-ST pour améliorer la chirurgie laser des cordes vocales a reçu le prix spécial du jury sur le salon MICRONORA

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  • Départagez de jeunes chercheurs dans "la grande Battle de FEMTO-ST"

    A l'occasion du dixième anniversaire de FEMTO-ST, le laboratoire et l'Université de Franche-Comté organisent un concours original...une battle de jeunes chercheurs, un combat scientifique et technique avec comme armes des "super pouvoirs" sortis du laboratoire.
    Retrouvez les sur le site de Besançon TV du 20 septembre au 11 octobre 2014 pour visionner leur portrait et vidéo et soutenir votre favori

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