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Micronora 2008 : Micron d’or et micro-vache

Pour la voir, il faut un microscope. Ses pièces sont en SU-8, une résine photosensible à haute résistance chimique et mécanique et font 5 µm d’épaisseur, tout comme ses encoches d’assemblage. Elles ont été fabriquées dans la salle blanche MIMENTO de FEMTO-ST sur un wafer en silicium. La plus petite pièce, le museau fait 50x50x5 µm3 et pèse 15 ng ; sa surface est donc comparable au diamètre d’un cheveu.

La performance technologique réside dans l’assemblage minuscule en volume de 5 pièces à l’échelle du micron réalisé grâce à la station de micro assemblage Pronomia. En effet, à cette échelle, les manipulations et les assemblages sont compliqués par les frottements et les forces d’adhésion très importants.

Les applications de cette innovation sont multiples et concernent des domaines variés tels que le médical, l’horlogerie, l’optique, les capteurs ou encore le spatial.

micro-vache

micro-vache

Micro-vache assemblée par la station de micro-assemblage PRONOMIA, Micron d'or 2008

  • Huihui LU récompensé par le gouvernement chinois pour sa thèse à FEMTO-ST

    Huihui LU a reçu le prix d’excellence académique du gouvernement chinois pour sa thèse menée entre 2009 et 2012 au sein du département d’Optique de FEMTO-ST dans le cadre d'une bourse accordée par le conseil régional de Franche-Comté.

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  • Atelier SMYLE 2013 - Intelligences dans les smart systems

    L’Atelier "SMYLE" ‘Intelligences dans les smart systems’ aura lieu les 12 et 13 septembre 2013 dans les locaux de l’ENSMM à Besançon.

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  • Prix de la meilleure thèse en génie électrique décerné à Amine MIRA

    Lors de la Conférence des Jeunes Chercheurs en Génie Electrique, Amine Mira a obtenu le prix de la meilleure thèse ayant trait aux applications industrielles.

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  • École thématique (EFTS) «Temps−Fréquence et Applications»

    Le Département Temps−Fréquence de FEMTO−ST et le réseau LABEX FIRST−TF organisent une École thématique CNRS European Frequency and Time Seminar (EFTS) du 26 au 30 août 2013.

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  • FEMTO-ST présent sur le salon EPMT - EPHJ

    FEMTO-ST participera du 11 au 14 juin 2013 au salon international EPMT, consacré à l'ensemble des microtechnologies.

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  • Romain Martinenghi et Émeline Saint Ellier lauréats du Prix A'Doc 2013

    Romain Martinenghi (optique) et Émeline Saint Ellier (énergie) sont lauréats du Prix A'Doc 2013 de l'Université de Franche-Comté.

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  • TEMIS SCIENCES : Visite chantier J-365 jours

    Le bâtiment de recherche dédié à l'institut FEMTO-ST, en cours de construction au cœur la technopole TEMIS à Besançon, sera livré d'ici un an. A cette occasion, une visite chantier rassemblant les partenaires a lieu mercredi 29 mai et marquera l'entrée du projet dans sa dernière ligne droite.

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  • Séminaires d'un chercheur NASA

    Abhinav Saxena, chercheur au sein du Prognostics Center of Excellence de la NASA assurera trois séminaires du 03 au 17 juin.

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  • Des biopuces pour percer les mécanismes de développement des cancers

    Une avancée majeure dans la compréhension des mécanismes de développement de nouvelles tumeurs lors de traitements par chimiothérapies a été obtenue récemment par l’équipe du Pr. François Ghiringhelli (Inserm Avenir, CGFL, Dijon) appuyé par le potentiel biopuce à résonance des plasmons de surface (SPR) développé au sein du département Micro Nano Sciences et Systèmes de FEMTO-ST (Bruchard et al., Nature Med, Jan 2013)

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  • Réunion de lancement du projet Interreg « Maintenance Prédictive des systèmes industriels »

    Le lancement du projet MainPreSI aura lieu le mercredi 22 mai 2013 de 15h00 à 17h00 dans les locaux de l’Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (Besançon)
    Ce projet qui se déroulera sur une période de 30 mois (2013-2015) est une collaboration franco-suisse, mais également un partenariat R&D entre des industriels et des chercheurs issus à la fois de l’institut FEMTO-ST et de l’école polytechnique fédérale de Lausanne.

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