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La nouvelle salle blanche de FEMTO-ST bientôt opérationnelle

Prévue dans le cadre du projet TEMIS Sciences, la livraison de l’extension de la salle blanche située dans le bâtiment TEMIS-Innovation-Maison des Microtechniques sur le technopole TEMIS à Besançon aura lieu fin septembre.

Il s’agit de la première étape de ce grand projet, porté par la Région Franche-Comté, qui verra d’ici juin prochain son aboutissement avec la remise, à l’Université de Franche-Comté, d’un nouveau bâtiment de recherche permettant d’accueillir plusieurs équipes de recherche bisontines de l’institut FEMTO-ST (Unité Mixte de Recherche CNRS/UFC/ENSMM/UTBM)

Dans le prolongement de la salle blanche initiale, cette extension de 850 m² du bâtiment va ainsi permettre de regrouper les différentes filières spécifiques de microfabrication de l’institut FEMTO-ST sur un même lieu, proche de ses utilisateurs. L’objectif étant de constituer sur TEMIS un campus visible et attractif associant recherche, formation et innovation grâce à la présence des établissements d’enseignement supérieur (Université de Franche-Comté et Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques), d’un des plus importants laboratoires français en sciences de l’ingénieur (FEMTO-ST) et d’industriels du domaine des microtechniques.

La salle blanche (« clean room » en anglo-saxon) est une pièce à atmosphère et à empoussièrement contrôlés, en légère surpression par rapport à l’extérieur. Elle est utilisée dans des domaines sensibles aux contaminations environnementales et notamment pour des procédés de fabrication et manipulations d’objets dont la taille de certaines parties est de l’ordre de quelques microns à quelques nanomètres. Elle permet en effet d’éviter que des particules plus grosses présentes dans l’air ambiant ne viennent créer des défauts sur les composants réalisés.

D’un point de vue technique, les équipements sont répartis dans la salle par ressources technologiques. Pour fabriquer un composant, il faut donc enchaîner des étapes entre ces différentes ressources : lithographie (reproduction d’un design sur le matériau à l’aide d’une résine photosensible), dépôt (de matériaux présentant différentes propriétés : piézoélectriques, isolantes, conductrices), gravure (usinage du matériau par voie chimique ou plasma). S’y ajoutent les ressources caractérisation (validation du dispositif tout au long des étapes de fabrication) ou encore connectique-packaging (conditionnement du composant final).

La phase de déménagement - repositionnement et mise en route de l’ensemble de ces équipements de haute technologie au sein de ce nouvel espace global d’environ 1400 m², dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 7, s’échelonnera sur une durée de 4 semaines à compter de début octobre. L’inauguration officielle étant quant à elle prévue fin novembre prochain.

Cette plateforme de pointe, animée par 15 ingénieurs et techniciens fait partie des 6 grandes centrales de technologies françaises. Elle représente, sans aucun doute, une véritable opportunité, pour les chercheurs de FEMTO-ST et pour ses partenaires académiques et industriels, de rester dans la compétition internationale dans le domaine des micro et nanotechnologies.

  • Séminaire 'Saisir les opportunités dans la nano-photonique'

    Profitant de la présence en France de James Pond, expert en modélisation optique par la méthode "Finite Difference Time Domain", nous vous invitons à venir l'écouter lors du séminaire intitulé : "Saisir les opportunités dans la nano-photonique"
    Ce séminaire aura lieu le vendredi 3 avril 2009 à 14h dans l'amphi FEMTO-ST.

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  • Journée Test et mesure AGILENT

    Exposition de matériels test et conférence sur les oscilloscopes et l'intégrité du signal le jeudi 2 avril 2009 de 9h30 à 17h00 à l'institut FEMTO-ST.

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  • e-maintenance : la Franche-Comté mise sur la plate-forme SISTRE

    Stratégie de maintenance et e-maintenance sont les maîtres mots traduisant la problématique industrielle étudiée par FEMTO-ST et plus particulièrement par l’équipe COSMI du département de recherche AS2M. Le système industriel SISTRE, rénové et financé par la région Franche-Comté, permet de marier des outils matériels et logiciels pour mettre au point la maintenance interactive de demain.

    Un article de presse est paru dans le bimestriel Référence Industrie de mars 2009

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  • FEMTO-ST au rassemblement national des délégués de laboratoire

    Deux représentants de FEMTO-ST participeront au rassemblement national des délégués de laboratoire, qui a lieu le jeudi 12 mars à l’Institut Océanographique à Paris.

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  • A la rencontre des acteurs de l'Innovation

    Tout au long de la journée du jeudi 19 mars 2009, rencontrez les acteurs de l’innovation, ceux qui la font et ceux qui peuvent vous aider dans votre démarche…

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  • FEMTO-Innovation présent du 3 au 8 mars sur le salon CeBIT à Hanovre

    FEMTO-Innovation à l’instar de 11 autres instituts Carnot membres du groupe « Technologie de l’Information et de la Communication, Micro et Nano Technologies » sera présent au CeBIT, 1er salon mondial des Technologies de l’Information et de la Communication (TIC), du 03 au 08 mars 2009 à Hanovre, Allemagne, sur le pavillon français du hall 9, stands B21 A et H.

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  • Tête chercheuse en nano-optique

    Coup de projecteur sur Maria Pilar Bernal Artajona, chercheuse à FEMTO-ST...

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  • Concours "Faites de la science"

    Le concours "Faites de la science" a pour objectif la promotion des sciences en contribuant à l'acquisition d'une culture scientifique et scientifique et technique et à une ouverture sur la démarche scientifique, par les élèves des collèges et lycées de la région. Toutes les idées sont bonnes pour autant qu'elles entrent dans les objectifs et l'esprit du concours. L'attribution de bourses vise à encourager le maximum d'initiatives.

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  • Conférences Nanozoom - Micronora

    En partenariat avec Micronora, notre institut de recherche organise les 24 et 25 septembre 2008 à Besançon, au cours du salon international des microtechniques, un cycle de conférences de haut niveau en langue française et anglaise dédié aux applications des micro et nanotechnologies.

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  • Réunion d’information sur les appels à projets P3N de l’ANR

    Robert Plana et Thiery Bosc de l’ANR, viendront présenter le programme P3N 2009 à l’institut FEMTO-ST le jeudi 5 février de 10h à 12h dans l'amphi FEMTO-ST au 32 avenue de l'observatoire à Besançon. Cette présentation est destinée aussi bien aux universitaires qu’aux industriels de la région Bourgogne / Franche-comté.

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