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Micronora 2008 : Micron d’or et micro-vache

Pour la voir, il faut un microscope. Ses pièces sont en SU-8, une résine photosensible à haute résistance chimique et mécanique et font 5 µm d’épaisseur, tout comme ses encoches d’assemblage. Elles ont été fabriquées dans la salle blanche MIMENTO de FEMTO-ST sur un wafer en silicium. La plus petite pièce, le museau fait 50x50x5 µm3 et pèse 15 ng ; sa surface est donc comparable au diamètre d’un cheveu.

La performance technologique réside dans l’assemblage minuscule en volume de 5 pièces à l’échelle du micron réalisé grâce à la station de micro assemblage Pronomia. En effet, à cette échelle, les manipulations et les assemblages sont compliqués par les frottements et les forces d’adhésion très importants.

Les applications de cette innovation sont multiples et concernent des domaines variés tels que le médical, l’horlogerie, l’optique, les capteurs ou encore le spatial.

micro-vache

micro-vache

Micro-vache assemblée par la station de micro-assemblage PRONOMIA, Micron d'or 2008

  • Nouvelle rentrée pour la Graduate School EIPHI

    200 nouveaux étudiants rejoignent ses 16 masters internationaux en 2023-2024

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    Ces prix viennent récompenser ses travaux de doctorat sur les films de KNbO3

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    Entrez au cœur d’une salle blanche en combinaison de protection et venez faire des expérimentations à l’aide de lasers et de fibres optiques !

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    Des chercheurs de FEMTO-ST viennent de démontrer un nouveau processus à faible empreinte énergétique pour dissocier des molécules d’azote, une étape décisive pour la production décarbonée de molécules à haute valeur ajoutée.

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    Inauguration d’un équipement régional unique pour comprendre des phénomènes quantiques et développer des recherches à fort impact sociétal. 

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  • Prix DESCROIX-VERNIER ETHICSCIENCE pour Agathe FIGAROL

    Un modèle innovant de tumeur sur micropuce au laboratoire pour combattre le cancer du cerveau

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  • Une approche innovante pour le remplissage de cellules d’horloges atomiques miniatures

    Cette nouvelle méthode, qui gagne en flexibilité, ouvre la voie à la production à grande échelle de capteurs atomiques.

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  • Cérémonie médaille des talents du CNRS : Daniel Brunner récompensé

    Chercheur CNRS en optique à FEMTO-ST et spécialiste des réseaux de neurones photoniques, Daniel Brunner est lauréat d’une médaille de Bronze 2022.

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  • Journées nationales sur les Technologies Emergentes en Micro-Nanofabrication

    Ces journées scientifiques qui ont lieu du 30 novembre au 2 décembre à Besançon rassemblent les acteurs majeurs français en micro-nanotechnologies, génie des procédés, physique et modélisation des processus de fabrication.

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